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1、送風量與排風量：如果是紊流潔凈室，那么就要測量其送風量與排風量。若為單向流潔凈室，則要測量其風速。
2、各區之間的氣流控制：為證明各區之間氣流運動方向正確，也就是從潔凈區向潔凈度差的區域流動，必須檢測：（1）各區間的壓差正確；（2）門口處或墻、地板等處的開口處氣流運動方向正確，即從潔凈區向潔凈程度差的區域流動。
3、過濾器檢漏：對高效過濾器及其外框要進行檢驗，以保證懸浮污染物不會穿過：（1）損壞了的過濾器；（2）過濾器與其外框間的縫隙；（3）過濾器裝置的其他部位而侵入室內。
4、隔離檢漏：這項測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈室。
5、室內氣流控制：氣流控制測試的類型要依潔凈室的氣流模式——是紊流還是單向流而定。若潔凈室氣流為紊流，則必須驗明室內沒有氣流運行不足的區域。若是單向流潔凈室，則必須驗明整個室內的風速和風向是符合設計要求的。
