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1、潔凈室靜電庫侖力 在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑100m，鋁線寬度約100m，氧化膜厚度
在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時，最易使產品報廢?，F在線徑更細，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會損害元器件，這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。
2、靜電放電ESD
(1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷，觸摸器件腳時發生ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達20A(10——100s)，不要說高密度，細線徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會遭受損壞。
一般說器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強是E=(5-10)×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿，而人體帶靜電超過50V、100V是極平常的。
